高精密勻膠機(jī)型號：SC200-SE

主要性能指標(biāo)： 
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）  
旋涂程序：多存100組程序，每組100步，每個(gè)步驟可到0.1秒  
轉(zhuǎn)動速度：0-5,000rpm（更高速可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm  
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可選），考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s  
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm，重復(fù)性< 1rpm  
工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圓晶）  
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量） 


 
產(chǎn)品外型尺寸： 
　　　　　613mm(D) * 463mm(W) * 306mm(H)